Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 2007

Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS

David Veyrié
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Soumis le : samedi 27 juin 2009-10:03:00

Dernière modification le : lundi 5 juin 2023-16:52:11

Archivage à long terme le : mardi 15 juin 2010-18:58:44

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Dates et versions

tel-00399621 , version 1 (27-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00399621 , version 1

Citer

David Veyrié. Approche alternative de l'évaluation de l'hermiticité des micro cavités. Application au packaging des MEMS. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Boredaux 1, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00399621⟩

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