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Theses

Substrats innovants pour des composants de puissance à base de GaN

Résumé : A l’heure actuelle, le marché de l’électronique de puissance est dominé par les composants silicium. Néanmoins, de nouveaux matériaux comme le nitrure de gallium ont émergé dans ce domaine grâce à leurs propriétés intéressantes. Ces nouveaux composants sont principalement réalisés sur des substrats silicium ce qui induit certaines problématiques lors de leur fabrication ou au niveau de leurs performances. Nous nous sommes intéressés dans cette thèse à des approches d’un point de vue du substrat dans l’objectif de résoudre ces problématiques. Ce travail a permis notamment de mettre en place une succession de procédés technologiques afin de remplacer le substrat silicium de fabrication par d’autres matériaux pour améliorer les performances de ces composants. Cette approche a notamment permis de transférer des composants fonctionnels sur un substrat cuivre. L’impact électrique et thermique du remplacement du substrat initial par un nouveau matériau a été étudié. Ce travail ouvre ainsi la voie du report de composants en nitrure de gallium réalisés sur des substrats silicium de diamètre 200 mm ou plus.
Mots-clés : Hemt Collage direct
Document type :
Theses
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02163166
Contributor : Abes Star :  Contact
Submitted on : Monday, June 24, 2019 - 9:24:07 AM
Last modification on : Thursday, June 11, 2020 - 5:04:08 PM

File

CIBIE_2019_archivage.pdf
Version validated by the jury (STAR)

Identifiers

  • HAL Id : tel-02163166, version 1

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STAR | CEA | DRT | LETI | CEA-GRE

Citation

Anthony Cibie. Substrats innovants pour des composants de puissance à base de GaN. Matériaux. Université Grenoble Alpes, 2019. Français. ⟨NNT : 2019GREAI014⟩. ⟨tel-02163166⟩

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