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Development of compensated immersion 3D optical profiler based on interferometry

Résumé : La CSI (Coherence Scanning Interferometry) ou la WLSI (White Light Scanning Interferometry) est une technique d'imagerie optique bien établie pour mesurer la rugosité de surface et la forme des surfaces microscopiques. Les avantages sont la sensibilité axiale nanométrique, un large champ de vision (des centaines de μm à plusieurs mm) et la vitesse de mesure (quelques secondes à quelques minutes). La technique est basée sur l'interférométrie optique avec une configuration de Linnik très difficile à ajuster mais elle présente plusieurs avantages: des objectifs d'ouverture numérique plus élevés pour améliorer la résolution spatiale; longue distance de travail, car il n'y a aucun besoin de l'un des composants devant l'objectif; une configuration de mode de lumière polarisée; franges contrastées en raison de la possibilité de modifier les voies optiques et les intensités des deux bras indépendamment. Alors que l'utilisation d'un objectif d'immersion dans l'eau présente les avantages suivants: éviter les problèmes liés à l'ajustement entre la formation des franges et le plan de formation de l'image; et pour minimiser la différence de dispersion entre les bras de l'interféromètre. Afin de pouvoir mesurer en mode eau et d'obtenir des échantillons à haute résolution latérale de types chimiques et biologiques, plusieurs défis doivent être surmontés tels que l'équilibrage de l'OPD sur les deux bras; trouver et ajuster les bonnes franges de contraste; trouver et adapter une compensation adéquate de l'eau dans le bras de référence horizontal pour faire fonctionner un système dans l'eau.
Document type :
Theses
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02159409
Contributor : Abes Star :  Contact
Submitted on : Tuesday, June 18, 2019 - 5:15:17 PM
Last modification on : Friday, June 21, 2019 - 5:47:30 PM

File

Mukhtar_Husneni_2018_ED269.pdf
Version validated by the jury (STAR)

Identifiers

  • HAL Id : tel-02159409, version 1

Citation

Husneni Mukhtar. Development of compensated immersion 3D optical profiler based on interferometry. Optics / Photonic. Université de Strasbourg, 2018. English. ⟨NNT : 2018STRAD017⟩. ⟨tel-02159409⟩

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