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Theses

Fonction normally-on, normally-off compatible de la technologie HEMT GaN pour des applications de puissance, hyperfréquences

Linh Trinh Xuan 1
1 XLIM-SRF - Systèmes RF
XLIM - XLIM : SRF
Résumé : Ce document présente les travaux de thèse ayant pour objet la recherche et développement d’une technologie co-intégrée HEMT GaN normale-on/normally-off compatible avec les matériaux et procédés technologiques de la technologie normally-on hyperfréquence. Un exposé théorique et une revue de l’état de l’art permettent d’abord d’entrevoir les différentes solutions technologiques qui s’offrent à nous, tout en affirmant et en précisant les applications visées. Différentes briques technologiques sont ensuite développées pour la fabrication de MOS-HEMTs GaN à recess de grille sur des épi-structures à barrière AlGaN ou (Ga)InAlN dédiées aux applications hyperfréquences. Nous insistons sur la possibilité d’intégrer les 2 fonctionnalités normally-off et normally-on de manière monolithique. Les échantillons ainsi réalisés sont ensuite caractérisés électriquement de manière conventionnelle, mais aussi en utilisant des techniques avancées de spectroscopie de pièges comme les paramètres S à basse fréquence et la mesure du transitoire de RON. Bien que certains phénomènes de piègeage dans l’oxyde de grille soient mis en évidence, les résultats sont très satisfaisants : des composants normally-off sont obtenus pour les 2 structures, et les performances sont au niveau de l’état de l’art mondial, avec plusieurs pistes d’amélioration en perspective.
Document type :
Theses
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-02056773
Contributor : Abes Star :  Contact
Submitted on : Monday, March 4, 2019 - 6:04:07 PM
Last modification on : Thursday, April 25, 2019 - 1:21:46 AM
Document(s) archivé(s) le : Wednesday, June 5, 2019 - 4:25:28 PM

File

2018LIMO0106.pdf
Version validated by the jury (STAR)

Identifiers

  • HAL Id : tel-02056773, version 1

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Citation

Linh Trinh Xuan. Fonction normally-on, normally-off compatible de la technologie HEMT GaN pour des applications de puissance, hyperfréquences. Electronique. Université de Limoges, 2018. Français. ⟨NNT : 2018LIMO0106⟩. ⟨tel-02056773⟩

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