, Cette donnée est intégrée dans le modèle via la relation entre le paramètre d'impact (distance entre les atomes lors de la collision) et l'angle de déflexion du centre de masse du système. Les études trouvées dans la littérature ont permis de déterminer que la relation entre ces deux variables suivait une loi linéaire décroissante. Deux fonctions étaient disponibles dans la littérature: collision Ar-Ar et collision Ti-Ar. A l'aide des rayons atomiques, il a été attribué la fonction de la collision Ar-Ar à Li-N 2 et la fonction de la collision Ti-Ar à O-N 2 , avec une pondération basée sur le numéro atomique moyen des atomes impliqués dans la collision. Cette méthode a été nécessaire pour pallier le manque d'informations à ce sujet et demeure une alternative viable, De plus, les sections efficaces de collision Li-N 2 et O-N 2 n'ont pas fait l'objet de publication à ce jour et aucune formule semi-empirique ne permet de les déterminer ou les approcher

, L'emploi de la distribution en coeur engendre, dans tous les cas étudiés, vol.1

, Les distributions en cosinus et TRIM ont un impact sur le dépôt qui diffère selon les cas. A 5 cm de distance entre la cible et le substrat, le dépôt est inhomogène et a son maximum au-dessus de la zone de pulvérisation de la cible, que ce soit à 1 Pa ou 2 Pa. Cependant, à 10 cm de distance, une partie du dépôt est homogène (entre 0 et 40 mm), suivi d'une diminution pour des rayons au-delà de 40 mm, Pa en pression et 5 / 10 cm de distance cible-substrat) une pente légèrement décroissante au niveau de la quantité d'atomes déposés en fonction du rayon

, La comparaison entre les mesures d'ellipsométrie et les résultats numériques montrent une similitude

, Une homogénéisation plus forte a été visible lors de l'augmentation de la distance entre la cible et le substrat. Ceci est dû au fait que les trajectoires des atomes sont très aléatoires et que la distance parcourue par un atome jusqu'à la cible est, statistiquement, « exponentiellement

L. Le-rapport, O du dépôt a été mesuré expérimentalement, par spectroscopie de photoélectrons induits par rayons X, et comparé à ceux obtenus avec le modèle OBELIX

, Globalement, les rapports Li/O sont très similaires, 0.89 expérimentalement et entre 0, vol.87

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