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Theses

Etude expérimentale des effets mécaniques et géométriques sur le transport dans les transistors nanofils à effet de champ

Résumé : Ce document est le résultat de mon travail de thèse au sein du CEA-Leti Grenoble.Il couvre notamment l'évolution de l'effet piézorésistif et des propriétés de transport électrique de transistors à effet de champ en fonction de différentes variables telles que la géométrie, la température, la contrainte mécanique interne....Le point de focalisation de ce travail est d'étudier l'effet de la réduction à l'extrême des dimensions de canal et de grille dans les transistors MOSFET.Une attention spéciale a aussi été portée sur la modélisation des données électriques.Différents algorithmes sont utilisés pour extraire les paramètres clefs des dispositifs, leurs pertinences en fonction des dimensions sont discutées.Un modèle de l'évolution des coefficients piézorésistifs a été dérivé d'un modèle de transport pour les transistors à grilles multiple.Ce modèle permet de prévoir les variations des coefficients piézorésitifs avec la section (largeur et épaisseur du canal) pour un dispositif multigrille.Un effet qui n'est pas prévu par les théories standards pour les dispositifs à très faible section a été montré par les mesures, des hypothèses sont discutées pour expliquer cet effet.
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01708025
Contributor : Abes Star :  Contact
Submitted on : Tuesday, February 13, 2018 - 11:55:05 AM
Last modification on : Thursday, June 11, 2020 - 5:04:07 PM
Document(s) archivé(s) le : Tuesday, May 8, 2018 - 12:29:52 AM

File

PELLOUX-PRAYER_2017_diffusion....
Version validated by the jury (STAR)

Identifiers

  • HAL Id : tel-01708025, version 1

Collections

STAR | CEA | DRT | LETI | CEA-GRE

Citation

Johan Pelloux-Prayer. Etude expérimentale des effets mécaniques et géométriques sur le transport dans les transistors nanofils à effet de champ. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes, 2017. Français. ⟨NNT : 2017GREAY042⟩. ⟨tel-01708025⟩

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