Etude de la microstructure et des transitions de phases électroniques et cristallines de couches épitaxiales de VO₂ déposées sur différents substrats

Résumé : Les travaux de recherche présentés dans ce manuscrit concernent l'étude du rôle des déformations (épitaxiale et d'origine thermique) sur les transitions structurales et électriques du dioxyde de vanadium. A cet effet, nous avons synthétisé des films minces de VO₂ par évaporation à faisceau d'électrons et par ablation laser. La géométrie des déformations est contrôlée en modifiant, d'une part, la nature des substrats et, d'autre part, l'épaisseur des dépôts. Dans le cas de la croissance sur des substrats de saphir (Al₂ O₃ ) orientés (001), le fort désaccord de réseau entraîne une croissance par coïncidence de domaine, de sorte que les déformations résiduelles résultent exclusivement du désaccord de coefficient de dilatation entre la couche et le substrat. L'étude de la transition structurale par diffraction des rayons X et l'étude de la résistivité électrique via un dispositif 4 pointes ont montré que la déformation en tension selon l'axe cᵣ conduit à une augmentation de la température de transition (> 68◦ C). L'apparition d'une phase intermédiaire a été mise en évidence au cours de l'étude structurale en température. La croissance sur des substrats de TiO₂ orientés (001) et (111) est caractérisée par un désaccord de réseau de plus faible (∼ 1%) avec une épaisseur critique de 4 nm, à partir de laquelle des dislocations sont créées en vue de relaxer l'énergie élastique. L'étude des transitions électriques et structurales a mis en évidence que l'évolution des transitions résulte d'une compétition entre les déformations épitaxiales, les déformations d'origine thermique et la présence de lacunes d'oxygène à l'interface.
Mots-clés : Dioxyde de vanadium
Type de document :
Thèse
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Limoges, 2017. Français. 〈NNT : 2017LIMO0059〉
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Contributeur : Abes Star <>
Soumis le : mardi 12 décembre 2017 - 00:34:53
Dernière modification le : mercredi 14 février 2018 - 15:40:57

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Virginie Thery. Etude de la microstructure et des transitions de phases électroniques et cristallines de couches épitaxiales de VO₂ déposées sur différents substrats. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université de Limoges, 2017. Français. 〈NNT : 2017LIMO0059〉. 〈tel-01661485〉

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