Robust control for manipulation inside a scanning electron microscope

Résumé : Cette thèse étudie le problème de nano-positionnement à l'intérieur d'un microscope électronique à balayage (MEB). Pour obtenir des informations de position avec rapidité et précision, une installation dédiée composée d’un vibromètre placé à l'intérieur du MEB a été mise en œuvre. Cette approche diffère de méthodes basées sur le traitement d'images, car elle permet de saisir des données en temps réel sur le comportement dynamique des structures étudiées. Dans une première étude, les perturbations mécaniques agissant à l'intérieur de la chambre à vide du microscope ont été caractérisées et leurs sources ont été identifiées. Cela a démontré comment les vibrations mécaniques externes et les bruits acoustiques peuvent influer largement sur les composants à l'intérieur du MEB par couplage mécanique, limitant ainsi la précision des manipulateurs. Dans un deuxième temps, une micro-pince du commerce a été étudiée. Une différence entre ses comportements dans l'air et dans le vide a été mise en évidence, ce qui a permis d'obtenir deux modèles dynamiques pour cet organe terminal, un pour chaque environnement. Deux lois de commande ont été proposées (commande H-infini et commande basée sur un observateur d'état étendu), afin d'obtenir en temps réel un positionnement précis dans le vide, et d'atténuer les effets des perturbations mécaniques externes. Les résultats ont été validés en simulation et expérimentalement.
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Thèse
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Franche-Comté, 2016. English. 〈NNT : 2016BESA2068〉
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Soumis le : mardi 12 décembre 2017 - 00:08:39
Dernière modification le : jeudi 15 février 2018 - 08:48:08

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Marcelo Gaudenzi de Faria. Robust control for manipulation inside a scanning electron microscope. Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Franche-Comté, 2016. English. 〈NNT : 2016BESA2068〉. 〈tel-01661447〉

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