Nanotechnologie verte : des polymères de la biomasse comme résines éco-efficientes pour la lithographie

Résumé : La lithographie est une étape clé de micro/nanotechnologie pour la fabrication de composants utilisés dans les domaines de la microéléctronique, de l’électronique flexible, de la photonique, du photovoltaïque, de la microfluidique... Cette étape de lithographie nécessite l’utilisation d’une résine inscriptible servant de masque temporaire permettant le transfert de motifs dans le matériau sous-jacent par gravure ou par déposition de nouveaux matériaux. La lithographie fait appel à des résines organiques mais aussi à des solvants organiques et des produits chimiques corrosifs et nocifs, ce qui va à l’encontre des problématiques environnementales et qui engendre des coûts supplémentaires liés à la gestion des risques et des déchets. De plus le contexte réglementaire (REACh ou US pollution act) évolue vers une plus grande protection de l’environnement et de la santé humaine et encourage l’utilisation de produits alternatifs. Dans ce contexte, mon projet de thèse visait à développer une résine biosourcée, non modifiée par des procédés de chimie de synthèse et développable dans l’eau. Cette résine devait être compatible avec les instruments de lithographies conventionnelles. Lors de ce travail, il a été démontré que le chitosane était une résine de tonalité positive permettant la réalisation d’un procédé complet de lithographie/gravure avec uniquement de l’eau comme solvant, sans modification du chitosane et sans l’utilisation de masque additionnel. Des motifs de 50 nm ont été obtenu dans la silice après lithographie électronique et gravure plasma et des motifs de 0.5 à 0.3 μm après photolithographie et gravure.
Type de document :
Thèse
Autre. Université de Lyon, 2017. Français. 〈NNT : 2017LYSEC037〉
Liste complète des métadonnées

https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-01661444
Contributeur : Abes Star <>
Soumis le : mardi 12 décembre 2017 - 00:07:31
Dernière modification le : mardi 16 janvier 2018 - 14:50:42

Fichier

TH_T2580_mcaillau.pdf
Version validée par le jury (STAR)

Identifiants

  • HAL Id : tel-01661444, version 1

Collections

Citation

Mathieu Caillau. Nanotechnologie verte : des polymères de la biomasse comme résines éco-efficientes pour la lithographie. Autre. Université de Lyon, 2017. Français. 〈NNT : 2017LYSEC037〉. 〈tel-01661444〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

30

Téléchargements de fichiers

28