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A. Tableau, 1 Etapes de procédé de l'atelier Photolithographie pour le produit majoritaire de la technologie 45 nm

A. Dans-le-tableau, 1, les noms des steps sont composés de deux parties : les termes en bleu foncé correspondent aux recettes de track

A. Tableau, 5 Etapes de procédé de l'atelier Métal pour le produit majoritaire de la technologie 45 nm

A. Figure, 9 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques gazeux dans l'atelier Métal, pour les cinq étapes les plus consommatrices, pour la technologie 45 nm

A. Figure, 10 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques gazeux dans l'atelier Métal, pour les quatre étapes les moins consommatrices

A. Tableau, 7 Etapes de procédé de l'atelier Diel pour le produit majoritaire de la technologie 45 nm

A. Figure, 13 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques dans l'atelier Diel, pour les sept étapes les plus consommatrices

A. Figure, 14 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques dans l'atelier Diel, pour les sept étapes les moins consommatrices, pour la technologie 45 nm

A. Figure, 15 Contributions mensuelles d'une étape de procédé à la consommation d'Hydroxyde de Sodium de la station de traitement des effluents aqueux industriels pour l'année, 2011.

. Sur-cette-figure, NaOH)_Site représente la consommation d'hydroxyde de sodium de la station de traitement utilisé pour le traitement des effluents aqueux industriels du site

A. Figure, 16 Contributions mensuelles d'une étape de procédé à la consommation de chlorure de calcium de la station de traitement des effluents aqueux industriels pour l'année, 2011.

. Sur-cette-figure, CaCl 2 )_Site représente la consommation de chlorure de calcium de la station de traitement utilisé pour le traitement des effluents aqueux industriels du site

A. Figure, 17 Contributions mensuelles d'une étape de procédé à la consommation de chaux de la station de traitement des effluents aqueux industriels pour l'année, 2011.

. Dans-ce-tableau, Ca(OH) 2 )_Site représente la consommation de chaux de la station de traitement utilisé pour le traitement des effluents aqueux industriels du site