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1 Etapes de procédé de l'atelier Photolithographie pour le produit majoritaire de la technologie 45 nm ,
1, les noms des steps sont composés de deux parties : les termes en bleu foncé correspondent aux recettes de track ,
5 Etapes de procédé de l'atelier Métal pour le produit majoritaire de la technologie 45 nm ,
9 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques gazeux dans l'atelier Métal, pour les cinq étapes les plus consommatrices, pour la technologie 45 nm ,
10 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques gazeux dans l'atelier Métal, pour les quatre étapes les moins consommatrices ,
7 Etapes de procédé de l'atelier Diel pour le produit majoritaire de la technologie 45 nm ,
13 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques dans l'atelier Diel, pour les sept étapes les plus consommatrices ,
14 Classement des étapes de procédé en fonction de leur consommation de produits chimiques dans l'atelier Diel, pour les sept étapes les moins consommatrices, pour la technologie 45 nm ,
15 Contributions mensuelles d'une étape de procédé à la consommation d'Hydroxyde de Sodium de la station de traitement des effluents aqueux industriels pour l'année, 2011. ,
NaOH)_Site représente la consommation d'hydroxyde de sodium de la station de traitement utilisé pour le traitement des effluents aqueux industriels du site ,
16 Contributions mensuelles d'une étape de procédé à la consommation de chlorure de calcium de la station de traitement des effluents aqueux industriels pour l'année, 2011. ,
CaCl 2 )_Site représente la consommation de chlorure de calcium de la station de traitement utilisé pour le traitement des effluents aqueux industriels du site ,
17 Contributions mensuelles d'une étape de procédé à la consommation de chaux de la station de traitement des effluents aqueux industriels pour l'année, 2011. ,
Ca(OH) 2 )_Site représente la consommation de chaux de la station de traitement utilisé pour le traitement des effluents aqueux industriels du site ,