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Theses

Élaboration de couches minces de dioxyde d'étain sensibles à l'action des gaz‎. Performances électriques et mécanismes réactionnels.

Résumé : Ce travail concerne l'élaboration par deux procédés différents puis l'étude de couches minces de dioxyde d'étain en vue de réaliser des éléments sensibles pour la détection des gaz. Le principe de tels détecteurs consiste à suivre les variations de conductivité électrique de ces produits lorsqu'un gaz s'adsorbe à leur surface et ceci en fonction de la température du détecteur. Le premier procédé, le dépôt chimique en phase vapeur, permet d'obtenir des couches compactes performantes, mais des problèmes liés à la reproductibilité des propriétés ainsi qu'à la sélectivité n'ont pu être résolus au cours de ce travail. Il a pu être montre que le deuxième procède, l'évaporation réactive, met en jeu, dans ce cas, une oxydation de l'étain suivie d'une sublimation de l'oxyde. Les couches obtenues peuvent avoir une très faible densité ainsi que des textures très particulières. Elles sont, pour certaines conditions de dépôt, très performantes au niveau sensibilité, sélectivité et stabilité dans le temps. Des expériences de thermodésorption et de mesure de conductivité en montée en température ont permis, dans le cas des couches obtenues par évaporation réactive, de proposer un modèle expliquant les propriétés électriques des couches en présence de certains gaz: l'augmentation de conductivité électrique observée alors semble provenir de la création de porteurs libres de courte durée de vie lors de certaines réactions catalytiques ayant lieu à la surface du dioxyde d'étain.
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00845136
Contributor : Andrée-Aimée Toucas <>
Submitted on : Tuesday, July 16, 2013 - 3:16:07 PM
Last modification on : Wednesday, June 24, 2020 - 4:18:20 PM
Document(s) archivé(s) le : Wednesday, April 5, 2017 - 12:48:21 PM

Identifiers

  • HAL Id : tel-00845136, version 1

Citation

Philippe Breuil. Élaboration de couches minces de dioxyde d'étain sensibles à l'action des gaz‎. Performances électriques et mécanismes réactionnels.. Génie des procédés. Ecole Nationale Supérieure des Mines de Saint-Etienne, 1989. Français. ⟨NNT : 1989INPG4204⟩. ⟨tel-00845136⟩

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