?s ?rés??t??t ??s ét???s ???ssé?s s?r s?? ??t???s?t??????????? s?r ??????t????t??? ?? s?s ?é???ts???t??? ??????? s?r ?? ??r??tér?s?t??? ?? s?? ???r??t ?? ???t? ??????? ??? ????tr?s tr????? s? s??t ??tér?ssés à ????????t?t??? ??s ?r??r?étés ???????t??? s??t ??r ???t ?é??étr?q?????????? s??t ??r ???é???r?? ?? ???s? ????s ??????t êtr? ??té?ré?s ???s ??s str??t?r?s ?r?ss??r ??r??tt??t ??? ?r???? ???s?té ????té?r?t??? ?t ??s ????? ?????ts ??? ???rs ??r??r?????s é???tr?q??s s?? ,
?s ?????r? r??????r ??s ???ér??ts ????s ?? tr??s??rt ???s ??s ??é???tr?q??s? P??s ???s ?rés??t?r??s ???ér??t?s ???r????s ???r ???é??s?r ?? ??é????? ?? ???r?? ???s ??s ??????s? ????? ?? s????????t s?r ??s ??t???s? ???s ?é?r?r??s ???? ???è??s ?? ??é????? ???r ??s ?é???r?s à ?????? ?? ??é????? ?? ??tr?r? q?? ???s ?t???? s?r??s? ???s ??s ?????tr?s s?????ts? ?? ,
?? ???t? ?? ?r????? ??s ??s?r?s ??t été ????t?é?s s?r ??s ??????tés ?? 100µm×100µm ?? t?sts s?sté??t?q??s? ? ??t?r q?? ??s t?sts ??????s ??t é???????t été ré???sés s?r ??s é????t?????s? ??s rés??t?ts s??t ???ér??ts ???? ??s t?sts s?sté ,
?t??rés ???s ??s ??s??s?t??s ?é???r?s ?t ???s ?????s ?s? s???r ?? r????r ??s ?r??r?étés ??tér???? ??t????s ???s ?? ?????tr? ? ???? ??s ??r??r?????s ??s ??s??s?t??s ?é???r?s ét???és? ???s ??rr??s ???s ??? ?r???èr? ??rt?? ????té?r?t??? ??s ??tér???? ?????? ????? ??é???tr?q?? ????t?r???? ???r ??s ???????t???s à ?????r?st???? ??s??t?? ???s ét????r??s ??s ?é???r?s à ,
?û à ?? tr??s??r???? ???s ?????? ??? ??r ??s é???? tr??s ?? ?? ?r????? ???? s??????q?? ??r s?? ??? ???s ??rt? ?t à s? str??t?r? ?? ????? ?? ?rêt? ??? ???r? ?????? ?? ???r? ????? r??rés??t? ,
?t ??êtr? ?é??sé?? ??????? ??r??tér?st?q??s ??é?r?t?r? ?t ??????????t ??s ???r?s ??????? r??r?????t ??s ??r??tér?st?q??s ??é?r?t?r? ?? ??s ??????tés ????? ???r ???ér??ts t???s ?? r????t? ??r ??s ??r??tér?st?q??s, ?r? ??????t? ????s ??s r????ts s??????t ????t???t??? ??s s??r??s??r???s s??????t ?????t?r ??s ??r??tér?st?q??s? ??s r????ts ??t été ???ts ???rs q?? ??s ????s ??s ?????????ts ét???? ,
s???t???s ??s ???s ??? ??s??é?s ?st ???t???s?t??? ?? ?r????s à ??rt tr????? ?? s?r? t??? ????? ??s ?r????s ?? ????s??????? P? ?? ??s ?r????s ?ét????q??s? ?? ???t? ????s ??r??tt??t ,
SiO 2 ?HfSiON ??? ??? ?é???r? à ??s? ?? ??tr?r? ???? ????? t????? ?? SiO 2 ?HfSiON ??s ??rt?s t??s???s ?? ?r??r????t??? ??s ?é???r?s ???s?????? ?HfSiON ?? t??t q??????? t?????? ??ét??? q?? ???s ????s ré???sé? ???s ?? ??rt?? ???? ? ??s ?? é??????? s?? ??térêt ??r r????rt à ?? ????? ?? SiO 2 ? ???s ?????s ???? ét????r ?? ???????? ???s ??s ?é???r?s à ?????? ?? ??é????? ??tr?r?? ??s ?ét???s ?? ???????s? ??tér??? s??t r??r???és ???s ?? ??rt?? ???? ?? ? r?tr???? ?? ?r??é?é ?? ???r???t??? ?? HfSiON ? ?? r??????r? q?? ?? HfSiO ? été ??tr?ré ???r ?? ????t???r ???r??? ?t ?ss?r?r, ??????Al 2 O 3 1 : 4?????HT O?????Si 3 N 4 ???HfS iON ???S iO 2 ?? ,
?r ???ér??t?s é???s? s??rs SiO 2 ?1nm? 1, 5nm ?t 2nm? ???s SiO 2 ??rt?r?? ??? ??é?r?t?r? ???s r????t?t ??????????t? ???s t??s ??s ??s? ??s ?r??r?étés ???????t??? s??t s??ér???r?s ?? SiO 2 ???ss?q?? ?? 3nm? ??r ?? ???r? ?????? ??s ?????? ???ér??ts? ??ét??? ré???sé? s?r ??s ????????s? ???s ?? ??rt?? ?????? ? ???tré q?? ??s str??t?r?s ????????t ?rés??t?r ??s ???r??ts ?? ???t?? à ?????? ?????? ???s ??????s q?? ??????? t??? ??? ???ss?q?? ?? 3nm ?? SiO 2 ? ???s ??tt? ??rt??? ???s ???s ??tér?ss?r??s ?? ???????? SiO 2 ?HfSiON s?r ?? rét??t?, ? 1nm?HfSiON ?5nm?Si 3 N 4 ?6nm?HT O?4nm????????8nm ???r ???ér??ts ?????? ????t s??? ???é? r??ts r????ts ?t ??? SiO 2 ?1nm?HfSiON?5nm?Si 3 ,
??r ??s ???? ??s??s?t??s? ? ?? tr??s??r???? ??? ??r ??s é???tr??s ??é?és à 1, 1eV ?st ???s ?????? ???r ?? ???????? SiO 2 ?HfSiON? ?? q?? ?? à ,
? ??s ??r??r?????s ?é???r?s? ???s ?? ?????tr? ?? ???s ????s ??tr????t ????s????? ??s é?é???ts t?é?r?q??s ??r??t? t??t ???????s? ??s rés??t?ts ???ér????t??? q?? ??t été ????sés ???s ??s ?????tr?s s?????ts? ??ss?? ???s ????s t??t ?????r? ?rés??té ??s r?????s s?r ??s ????s ?? ??????t??? é???? tr???q?? ???s ??s ??é???tr?q??s t???? q??s ???????ts ???r êtr? ??té?rés ?? t??t q??????? t?????? ?? ??rt??????r ??s str??t?r?s SiO 2 ?HfSiON ??t ?rés??té?s ??? très ????? s??s?????té ?? ?????? ???s ?? ?????tr? ?? ???s ????s ét???é ????térêt ??s ??tér???? ?????? ??té?rés ???s ??s ???????s ?é???r?s à ?????r?st??? ?t à ?????? ?? ??é????? ??tr?r? ???r ??s ,
?é????? ??s?r?t s??t ?? ???s ?? ???s ????s??é?s? ?? tr????? ?? ??tt? t?ès? s???s?r?t ???s ?? ???t??t?? ?? ????r??? t??t ?????r? ??? ét??? é???tr?q?? ????r?? ???? ??é?????? ???r??ts ?? ???t????? ?? ??? tér???? ?????? ?HfO 2 ? HfAlO? Al 2 O 3 ? ,