Wide Band Optical Monitoring for thin film thickness control during process deposition

CONTROLE SPECTROPHOTOMETRIQUE LARGE BANDE DE FILTRES INTERFERENTIELS EN COURS DE DEPOT

B. Badoil (1)

1 FRESNEL - Institut FRESNEL

Wide Band Optical Monitoring for thin film thickness control during process deposition is demonstrated with a reflectance and transmittance optical set up

Les performances d'un filtre optique interférentiel sont directement liées à la qualité du contrôle optique implanté sur la machine de dépôt. Actuellement, les contrôles spectrophotométriques large bande se développent de plus en plus du fait de l'amélioration des détecteurs matriciels. Le système optique développé durant ce travail de thèse présente la particularité de mesurer simultanément les profils spectraux en transmission et en réflexion de l'échantillon traité en rotation au cours du dépôt, ceci sur une plage spectrale située entre 400 et 1000 nm. Un tel système couplé à un logiciel d'optimisation permet de compenser les éventuelles erreurs de dépôt en modifiant après la réalisation de chaque couche les épaisseurs de celles restant à déposer. Il permet également une caractérisation in situ des indices et épaisseurs de matériaux diélectriques ou absorbants.

Mots clés: couches minces optiques; controle optique

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

B. Badoil. CONTROLE SPECTROPHOTOMETRIQUE LARGE BANDE DE FILTRES INTERFERENTIELS EN COURS DE DEPOT. Sciences de l'ingénieur [physics]. Université Paul Cézanne - Aix-Marseille III, 2007. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00472428⟩