Méthodes et outils pour la conception et la fabrication des microsystèmes - TEL - Thèses en ligne Accéder directement au contenu
Thèse Année : 1996

Methods and tools for the design and manufacturing of microsystems

Méthodes et outils pour la conception et la fabrication des microsystèmes

Résumé

Un des obstacles majeurs pour démarrer une activité dans le domaine des microsystèmes est le fait que des technologies particulières et donc coûteuses sont nécessairement requises. D'autre part, alors que les outils de CAO pour la microélectronique ont acquis un degré de maturité élevé, où toutes les séquences de fabrication sont simulées et le fonctionnement d'un composant ou systèmes peut être complètement prévu, l'art de la modélisation et de la conception des microsystèmes ne fait que débuter. Le développement de la Microélectronique vers la fin des années 70 a été rendu possible par l'utilisation d'outils CAO et par la mise à disposition de fonderies. Sans apports comparables, les Microsystèmes resteraient des curiosités de laboratoire, des prouesses techniques de chercheurs, mais ne deviendraient pas des produits industriels. Ainsi, l'objectif de cette thèse est d'assurer un accès à la technologie des microsystèmes en adaptant des lignes de production industrielles pour la microélectronique, de développer un environnement de conception et de simulation basé sur des outils existants étendus et de définir une architecture générique de microsystèmes
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Dates et versions

tel-00345390 , version 1 (09-12-2008)

Identifiants

  • HAL Id : tel-00345390 , version 1

Citer

Jean-Michel Karam. Méthodes et outils pour la conception et la fabrication des microsystèmes. Modélisation et simulation. Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG, 1996. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨tel-00345390⟩

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