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Theses

Contribution à l'étude d'un microcapteur de type MOS sensible à l'hydrogène

Résumé : REALISATION DE MICROCAPTEURS DU TYPE MOS A GRILLE DE PALLADIUM DESTINES A LA DETECTION D'HYDROGENE. ORIGINE DES FORCES RESPONSABLES DE PHENOMENES D'ADSORPTION A L'INTERFACE SOLIDE-GAZ, TAUX D'OCCUPATION DES SITES, PRESSION DES GAZ PRESENTS A LA SURFACE DU SOLIDE, ENERGIE D'ACTIVATION. ETUDE DES MODIFICATIONS DES CARACTERISTIQUES ELECTRIQUES DES STRUCTURES MOS SUSCEPTIBLES D'ETRE PROVOQUEES PAR L'ADSORPTION DES GAZ. DESCRIPTION DES BANCS DE MESURE ET DU PROCESSUS TECHNOLOGIQUE UTILISE POUR LA REALISATION DE STRUCTURES MOS. RESULTATS EXPERIMENTAUX PORTANT SUR LA REPONSE DES DISPOSITIFS A L'HYDROGENE: EN PRESENCE D'OXYGENE A LA PRESSION ATMOSPHERIQUE ET SOUS PRESSION REDUITE EN ABSENCE D'OXYGENE DANS UNE ENCEINTE A VIDE.
keyword : Indisponible
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00178415
Contributor : Anne Bergez <>
Submitted on : Thursday, October 11, 2007 - 10:12:23 AM
Last modification on : Friday, January 10, 2020 - 9:08:09 PM
Long-term archiving on: : Monday, June 27, 2011 - 3:48:24 PM

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  • HAL Id : tel-00178415, version 1

Citation

Philippe Caratgé. Contribution à l'étude d'un microcapteur de type MOS sensible à l'hydrogène. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 1978. Français. ⟨tel-00178415⟩

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