Elaboration du carbure et du nitrure de titane par ds procédés chimiques et physiques en phase vapeur : caractérisation de la microstructure
Résumé
Titanium carbide and titanium nitride were obtained by CVD and PVD techniques. These processes allowed the elaboration of a thick ceramic coating for protecting a tungsten metallic device. The influence of several experimental parameters, proper at each deposition technique, has been studied on the nucleation, the microstructure and the preferred orientation of the coatings, considering the interaction with the substrate. Residual stresses were estimated by sin2 ψ method and a correlation with the microstructure was done in order to explain the cracking behaviour of different coatings.
Le carbure et le nitrure de titane ont été élaborés par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur. Ces procédés ont permis l'obtention d'un revêtement céramique épais et dense en vue de la protection d'un dispositif métallique en tungstène. L'influence des différents paramètres expérimentaux, propres à chaque procédé, a été étudiée sur la germination, la microstructure et la texturation des revêtements, tout en intégrant l'interaction avec le substrat. L'analyse des contraintes résiduelles, réalisée par la méthode de sin2 ψ , a permis d'expliquer le comportement vis-à-vis de la fissuration de différents dépôts.
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