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Theses

Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraédrique amorphe pure et dopé; propriétés des couches et intégration dans le fabrication de composants MEMS RF

Jean-Christophe Orlianges 1
1 Axe 2 : procédés de traitements de surface
SPCTS - Science des Procédés Céramiques et de Traitements de Surface
Abstract : The fist part of this work is devoted to the pulsed laser deposition process. We propose solutions for the two main problems of PLD : the ejection of micron-sized particles and the non uniformity of film thickness profile. In the second part, we study the properties of alumina and pure and doped tetrahedral amorphous carbon deposited by laser ablation under high vacuum and at room temperature. In the last part, we present the insertion of these two materials in radio frequency micro electro mechanical system.
Document type :
Theses
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https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00006701
Contributor : Jean-Christophe Orlianges <>
Submitted on : Wednesday, August 18, 2004 - 1:29:44 PM
Last modification on : Wednesday, February 14, 2018 - 4:29:35 PM
Long-term archiving on: : Friday, April 2, 2010 - 8:37:19 PM

Identifiers

  • HAL Id : tel-00006701, version 1

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Citation

Jean-Christophe Orlianges. Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraédrique amorphe pure et dopé; propriétés des couches et intégration dans le fabrication de composants MEMS RF. Matériaux. Université de Limoges, 2003. Français. ⟨tel-00006701⟩

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