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fulltext access ETUDE DES MOYENS DE LITHOGRAPHIE HAUTE RESOLUTION POUR LA FABRICATION DE RESONATEURS A ONDES ELASTIQUES DE SURFACE : APPLICATION AUX SOURCES EMBARQUEES
Salut R.
Université de Franche-Comté (15/12/2011), Sylvain Ballandras (Dir.) [tel-00699511 - version 1]