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Fiche détaillée Brevets
11/52729 (31/03/2011) - France
Method of adjusting the resonance frequency of a micro-machined element
Y. Civet1, F. Casset2, S. Basrour1, J.F. Carpentier3

La présente invention concerne les éléments vibrants micro-usinés se trouvant dans certains composants électromécaniques tels que les résonateurs, les capteurs de mouvement (accéléromètres, gyromètres, ?) et les capteurs de vibrations. La présente invention s'applique notamment à la fabrication de tels composants. Procédé d'ajustement de la fréquence de résonance d'un élément vibrant, comprenant une étape de mesure de la fréquence de résonance (FR) de l'élément vibrant, caractérisé en ce qu'il comprend des étapes consistant à déterminer à l'aide d'abaques, et en fonction de la fréquence de résonance mesurée (FR), des dimensions et une position d'au moins une zone d'épaisseur modifiée à former sur l'élément vibrant pour que la fréquence de résonance de celui-ci corresponde à une fréquence de consigne, et à former sur l'élément vibrant une zone d'épaisseur modifiée aux dimensions et positions déterminées.
1 :  TIMA - Techniques of Informatics and Microelectronics for integrated systems Architecture
2 :  LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
3 :  ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]