Fiche détaillée

Communications sans actes

International Workshop on Nitride Semiconductors, Montreux : Suisse (2008)

Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)

Yvon Cordier1, Aude Le Cotonnec1, Sébastien Chenot2, Nicolas Baron3, Nacer Farih4, Marie-Paule Besland4, Antoine Goullet4, Mario El Kazzi5, Philippe Regreny5, Guy Hollinger, Hervé Lhermite6

1 :	CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2 :	INSP - Institut des Nanosciences de Paris
3 :	FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies
4 :	IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
5 :	INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
6 :	IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes

Équipe de recherche : Capteurs intégrés (CI)

hal-00540445, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00540445

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00540445

Contributeur : Yolande Sambin <>

Soumis le : Vendredi 26 Novembre 2010, 16:57:30

Dernière modification le : Mardi 24 Juillet 2012, 17:01:53