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Fiche détaillée Communications sans actes
International Workshop on Nitride Semiconductors, Montreux : Suisse (2008)
Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)
Yvon Cordier1, Aude Le Cotonnec1, Sébastien Chenot2, Nicolas Baron3, Nacer Farih4, Marie-Paule Besland4, Antoine Goullet4, Mario El Kazzi5, Philippe Regreny5, Guy Hollinger, Hervé Lhermite6
1 :  CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2 :  INSP - Institut des Nanosciences de Paris
3 :  FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies
4 :  IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
5 :  INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
6 :  IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
Capteurs intégrés (CI)