Fiche détaillée

Articles dans des revues avec comité de lecture

Physical Status Solidi (c) 6, S2 (2009) S1016-S1019

Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)

Yvon Cordier1, Aude Le Cotonnec1, Sébastien Chenot1, Nicolas Baron1, Nacer Farih2, Marie-Paule Besland2, Antoine Goullet2, Mario El Kazzi3, Philippe Regreny3, Guy Hollinger3, Hervé Lhermite4

1 :	CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2 :	IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
3 :	INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
4 :	IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes

Équipe de recherche : Capteurs intégrés (CI)

hal-00329478, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00329478

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00329478

Contributeur : Hervé Lhermite <>

Soumis le : Vendredi 10 Octobre 2008, 18:05:28

Dernière modification le : Mardi 17 Avril 2012, 16:02:03