Fiche détaillée

Communications sans actes

JNMO'08 : 12èmes Journées Nano Micro et Optoélectronique, Saint-Pierre-d'Oléron : France (2008)

Passivation de matériaux et composants III-V par plasma ECR d'azote

Nacer Farih1, Marie-Paule Besland1, Antoine Goullet1, Mario El Kazzi2, Philippe Regreny2, Guy Hollinger2, Hervé Lhermite3, Aude Le Cotonnec4, Sébastien Chenot4, Nicolas Baron4, Yvon Cordier4

1 :	IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
2 :	INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
3 :	IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
4 :	CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications

Équipe de recherche : Capteurs intégrés (CI)

hal-00288425, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00288425

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00288425

Contributeur : Hervé Lhermite <>

Soumis le : Lundi 16 Juin 2008, 18:04:06

Dernière modification le : Vendredi 29 Mars 2013, 18:07:27