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Detailed view Article in peer-reviewed journal
Physical Status Solidi (c) 6, S2 (2009) S1016-S1019
Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)
Yvon Cordier1, Aude Le Cotonnec1, Sébastien Chenot1, Nicolas Baron1, Nacer Farih2, Marie-Paule Besland2, Antoine Goullet2, Mario El Kazzi3, Philippe Regreny3, Guy Hollinger3, Hervé Lhermite4
1:  CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2:  IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
3:  INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
4:  IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
Capteurs intégrés (CI)