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Article in peer-reviewed journal

Physical Status Solidi (c) 6, S2 (2009) S1016-S1019

Evaluation of SiN films for AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si(111)

Yvon Cordier1, Aude Le Cotonnec1, Sébastien Chenot1, Nicolas Baron1, Nacer Farih2, Marie-Paule Besland2, Antoine Goullet2, Mario El Kazzi3, Philippe Regreny3, Guy Hollinger3, Hervé Lhermite4

1:	CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
2:	IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
3:	INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
4:	IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes

Research team: Capteurs intégrés (CI)

hal-00329478, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00329478

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00329478

From: Hervé Lhermite <>

Submitted on: Friday, 10 October 2008 18:05:28

Updated on: Tuesday, 17 April 2012 16:02:03