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Article in peer-reviewed journal

Sensors and Actuators B Chemical 126, 1 (2007) 48-51

Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications

G. Fleury1, 2, C. Malhaire3, 4, 5, C. Populaire3, M. Verdier6, 7, A. Devos6, 8, J.L. Charvet1, J.P. Polizzi1

1:	LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
2:	CMP-ENSMSE - Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC)
3:	LPM - Laboratoire de physique de la matière
4:	INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
5:	INSAT - Institut National des Sciences Appliquées et de Technologie
6:	SIMAP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
7:	LTPCM - Laboratoire de thermodynamique et physico-chimie métallurgiques
8:	IEMN - Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie

hal-00293917, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00293917

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00293917

From: Sms Stagiaire <>

Submitted on: Tuesday, 8 July 2008 09:26:46

Updated on: Tuesday, 15 July 2008 11:57:51