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Detailed view Article in peer-reviewed journal
Sensors and Actuators B Chemical 126, 1 (2007) 48-51
Mechanical cross-characterisation of sputtered inconel thin films for MEMS applications
G. Fleury1, 2, C. Malhaire3, 4, 5, C. Populaire3, M. Verdier6, 7, A. Devos6, 8, J.L. Charvet1, J.P. Polizzi1
1:  LETI - Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information
2:  CMP-ENSMSE - Centre Microélectronique de Provence - Site Georges Charpak (CMP-GC)
3:  LPM - Laboratoire de physique de la matière
4:  INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
5:  INSAT - Institut National des Sciences Appliquées et de Technologie
6:  SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
7:  LTPCM - Laboratoire de thermodynamique et physico-chimie métallurgiques
8:  IEMN - Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie