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JNMO'08 : 12èmes Journées Nano Micro et Optoélectronique, Saint-Pierre-d'Oléron : France (2008)
Passivation de matériaux et composants III-V par plasma ECR d'azote
Nacer Farih1, Marie-Paule Besland1, Antoine Goullet1, Mario El Kazzi2, Philippe Regreny2, Guy Hollinger2, Hervé Lhermite3, Aude Le Cotonnec4, Sébastien Chenot4, Nicolas Baron4, Yvon Cordier4
1:  IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
2:  INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
3:  IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
4:  CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications
Capteurs intégrés (CI)