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Conference, seminar, workshop communication

JNMO'08 : 12èmes Journées Nano Micro et Optoélectronique, Saint-Pierre-d'Oléron : France (2008)

Passivation de matériaux et composants III-V par plasma ECR d'azote

Nacer Farih1, Marie-Paule Besland1, Antoine Goullet1, Mario El Kazzi2, Philippe Regreny2, Guy Hollinger2, Hervé Lhermite3, Aude Le Cotonnec4, Sébastien Chenot4, Nicolas Baron4, Yvon Cordier4

1:	IMN - Institut des matériaux Jean Rouxel
2:	INL - Institut des nanotechnologies de Lyon - Site d'Ecully
3:	IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
4:	CRHEA - Centre de recherche sur l'hétéroepitaxie et ses applications

Research team: Capteurs intégrés (CI)

hal-00288425, version 1

http://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00288425

oai:hal.archives-ouvertes.fr:hal-00288425

From: Hervé Lhermite <>

Submitted on: Monday, 16 June 2008 18:04:06

Updated on: Friday, 29 March 2013 18:07:27