Environmental characterization of the microelectronic manufacturing processes for the technologies eco-design

Caractérisation des process de fabrication microélectroniques pour l'éco-conception des futures technologies (partenaire industriel STMicroelectronics)

Ingwild Baudry (1)

1 G-SCOP_CPP - Conception Produit Process

The microelectronic industry has been engaged for a long time in measures to reduce its impacts on the environment, regarding all the life cycle phases of its products. For the manufacturing sites, the logical follow-ups to the implementation of pollutions treatment systems are their anticipation. The eco-design of microelectronic technologies, that is the integration of environmental parameters in their development process, enables to meet this objective. The aim of our research work is to environmentally characterize the microelectronic manufacturing processes to propose tools and methods for their designers. Therefore, we modeled a microelectronic technology, and we matched environmental impacts with its inputs and outputs. This allows us to suggest environmental indicators for the R&D, which are adapted to a microelectronic development and manufacturing site.

L'industrie microélectronique est engagée depuis longtemps dans des mesures visant à réduire ses impacts sur l'environnement, et ce sur toutes les phases du cycle de vie de ses produits. Sur les sites de fabrication, la suite logique à la mise en place de système de traitement des pollutions est l'anticipation de ces dernières. L'éco-conception des technologies microélectroniques, c'est-à-dire l'intégration de paramètres environnementaux dans leur processus de développement, permet de répondre à cet objectif. Notre travail de recherche a pour but de caractériser environnementalement les procédés de fabrication microélectronique afin de proposer des outils et méthodes pour leurs concepteurs. Nous avons donc modélisé une technologie microélectronique, et associé des impacts environnementaux aux flux entrants et sortants. Cela nous a permis de proposer des indicateurs environnementaux destinés à la R&D et adaptés à un site de développement et de production microélectronique.

Mots clés: Environmental assessment; Microelectronic manufacturing processes; Eco-design

Mots clés: Evaluation environnementale; Procédés de fabrication microélectronique; Eco-conception

Domaines: Autre

Ingwild Baudry. Caractérisation des process de fabrication microélectroniques pour l'éco-conception des futures technologies (partenaire industriel STMicroelectronics). Autre. Université de Grenoble, 2013. Français. ⟨NNT : 2013GRENI043⟩. ⟨tel-00957329⟩