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Institut National Polytechnique de Grenoble - INPG (20/05/1996), Bernard Courtois (Dir.)
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Karam.Jean-Michel_1996_these.pdf(7.7 MB)
Méthodes et outils pour la conception et la fabrication des microsystèmes
Jean Michel Karam1

Un des obstacles majeurs pour démarrer une activité dans le domaine des microsystèmes est le fait que des technologies particulières et donc coûteuses sont nécessairement requises. D'autre part, alors que les outils de CAO pour la microélectronique ont acquis un degré de maturité élevé, où toutes les séquences de fabrication sont simulées et le fonctionnement d'un composant ou systèmes peut être complètement prévu, l'art de la modélisation et de la conception des microsystèmes ne fait que débuter. Le développement de la Microélectronique vers la fin des années 70 a été rendu possible par l'utilisation d'outils CAO et par la mise à disposition de fonderies. Sans apports comparables, les Microsystèmes resteraient des curiosités de laboratoire, des prouesses techniques de chercheurs, mais ne deviendraient pas des produits industriels. Ainsi, l'objectif de cette thèse est d'assurer un accès à la technologie des microsystèmes en adaptant des lignes de production industrielles pour la microélectronique, de développer un environnement de conception et de simulation basé sur des outils existants étendus et de définir une architecture générique de microsystèmes
1:  IMAG - Institut d'Informatique et de Mathématiques Appliquées de Grenoble
Conception assistée – Fabrication microélectronique – Microusinage – Circuit intégré – Silicium – Composé III-V – Gallium Arséniure – Microsystème – Architecture générique

Methods and tools for the design and manufacturing of microsystems
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