Methodologie de conception des protections des circuits intégrés contre les décharges électostatiques

Nicolas Nolhier (1)

1 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes

Electrostatic Discharge (ESD) stresses strongly impact on integrated circuits reliability. The research work led in LAAS-CNRS laboratory on this field is synthesized in this document. The following topics are detailed : - physical mechanisms study of device behavior during an ESD stress - design methodology for ESD protection devices - novelty ESD protections development The final part of this report presents an outlook which is closely tied to integrated circuits technology advance, ESD standard development and system level approach.

La problématique des agressions par décharges électrostatiques (ESD) est un facteur critique dans la fiabilité des circuits intégrés. Ce document effectue la synthèse des travaux menés au LAAS-CNRS dans ce domaine. Les points suivants seront plus particulièrement abordés : - L'étude des mécanismes physiques qui gèrent le comportement d'un composant lors d'une décharge ESD - La mise en place d'une méthodologie de conception de structures de protection - Son application au développement de solutions de protection innovantes La dernière partie de ce document propose les perspectives de cet axe de recherche qui sont principalement motivés par les progrès technologiques des circuits intégrés, l'évolution des normes de robustesse et l'extension de nos travaux au niveau du système.

Mots clés: Electrostatic discharges (ESD); ESD protections; Very high current injection

Mots clés: Décharges électrostatiques (ESD); ESD; Protections ESD; TLP; Régimes fortes injections

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Nicolas Nolhier. Methodologie de conception des protections des circuits intégrés contre les décharges électostatiques. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Paul Sabatier - Toulouse III, 2005. ⟨tel-00265344⟩