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Université Sciences et Technologies - Bordeaux I (24/03/1995), Gérard Demazeau ; Bernard Tanguy (Dir.)
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Etude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique
Dominique Michau1

En utilisant une démarche de type "Chimie du Solide", le rôle des principaux facteurs caractérisant la surface du substrat (composition chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en évidence. La densité de nucléation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu notamment etre corrélés a la diffusion du carbone dans le substrat. Afin de contrôler celle-ci, des couches superficielles de composes covalents tels que les nitrures et les borures ont été utilisées. Elles ont permis d'atteindre des densités très importantes de nucléi de diamant pour des temps de dépôt relativement courts. L'ensemble des résultats concernant le dépôt par hétéroépitaxie du diamant a permis de proposer une méthodologie au niveau du choix du substrat et des espèces réactives pour l'obtention de couches minces de nitrure de bore cubique.
1:  ICMCB - Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux
Etude expérimentale – Couche mince – CVD – Diamant – Substrat – Bore nitrure – Composé binaire – Réseau cubique – Germination cristalline – Croissance cristalline en phase vapeur – Carbone – Diffusion transport

Study of the role of the substrate on the diamond nucleation and application to the development of cubic boron nitride thin films
non disponible
Experimental study – Thin films – CVD – Diamonds – Substrates – Boron nitrides – Binary compounds – Cubic lattices – Crystal nucleation – Crystal growth from vapors – Carbon – Diffusion

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