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Université Joseph-Fourier - Grenoble I (15/05/2006), René-Louis Inglebert (Dir.)
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Elaboration par MOCVD à injection pulsée d'oxydes de fer et de BiFeO3
Jessica Thery1, 2

Ces quinze dernières années, l'élaboration d'oxydes fonctionnels sous forme de couches minces a connu un essor important. En microélectronique, ainsi qu'en spintronique, il est important de pouvoir synthétiser des films cristallins avec une épaisseur nanométrique et une interface abrupte. Dans cette configuration, les propriétés des films diffèrent des propriétés du matériau massif, notamment de part l'importance des conditions à l'interface entre le film et le substrat. Cette étude est focalisée sur la croissance par MOCVD a injection pulsée d'oxydes a base de fer : Fe3O4, g-Fe2O3 et BiFeO3. L'originalité de ce travail découle des études in situ des premiers stades de la croissance des films par AFM (microscope a force atomique) sous ultravide.
1:  LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2:  LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
MOCVD – Fe2O3 – Fe3O4 – BiFeO3 – (UHV) AFM – couches minces – croissance

Liquid injection MOCVD growth of iron oxides and BiFeO3
Growth of functional oxides in thin films has been very important in the last fifteen years. For microelectronic and spintronic applications, it is of interest to synthesise crystalline films, with a thickness of few nanometers and with very sharp interfaces. In that case, properties of thin films are dominated by interface effects. This study deals with the LI-MOCVD growth of iron based oxides: Fe3O4, g-Fe2O3 and BiFeO3. Thin film growth of these compounds has been investigated. The originality of this work comes from the UHV AFM in situ investigations. We refer to these studies to analyse the influence of growth parameters on the first growth stages.
MOCVD – Fe2O3 – Fe3O4 – BiFeO3 – (UHV) AFM – thin film – growth

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